南大光电：光刻胶验证根据验证阶段分为 PRS（光刻胶性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）及 Release（通过验证）_天天动态

2023-05-30 21:56:29 来源：同花顺

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同花顺（300033）金融研究中心5月30日讯，有投资者向南大光电(300346)（300346）提问，请问老师，能不能讲述一下光刻胶验证的四个阶段，目前28nm光刻胶进入哪个阶段了？

公司回答表示，"谢您的关注！通常，光刻胶验证根据验证阶段分为 PRS（光刻胶性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）及 Release（通过验证）。公司开发了多款ArF光刻胶在下游客户处验证，各款产品的验证进度不一。

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